透表面电子束激励电势法研究半导体及其电物理参数

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该文对透表面电子束激励电势检测仪(简称透表仪)做了测试分析,从而利用透表面电子束激励电势法到扫描电子显微镜中观测研究覆盖在表面绝缘层下的半导体及其集电电路的缺陷和微结构.该文在上述工作的基础上,进一步利用一个简化模型,分稳态和瞬态两中情况下,推导出在扫描电子显微镜中,透表面电子吵激励电势U与半导体表面复合速度S所存在的关系,然后在理论基础上,根据最小二乘法原理,利用计算机得到计算值或实验数据的指数曲线拟合结果,从而通过渐近法找到半导体材料的非平衡载流子的扩散长度L和寿命τ的真实值,通过这样做来提高利用透表面电子束激励电热法研究和测量半导体材料的非平衡载流子扩散长度L和寿命τ的精度.
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