【摘 要】
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该文介绍了整个系统的测量原理及结构.它属于距离的绝对测量,整个测量系统由定位干涉仪和扫描干涉仪两部分组成,分别完成对靶标的定位,光程调谐以及对距离的测量.实现了整个
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该文介绍了整个系统的测量原理及结构.它属于距离的绝对测量,整个测量系统由定位干涉仪和扫描干涉仪两部分组成,分别完成对靶标的定位,光程调谐以及对距离的测量.实现了整个测量系统的量程位增,通过插入一段段精确标定的光纤,无需加大导轨的长度就扩大了系统的测量范围,实现了无长导轨的大距离测量.提出了光纤自标定思想,成功地实现了光纤的自标定,方便精确地标定出两组光纤的光程差,仅利用自身的测量系统,而无需借用外界仪器.实现了一套完整的定位信号提取电路,成功地提取出所需信号.设计了一套数据处理软件,利用A/D转换,IEE488接口卡,通过计算机实现了整个测量系统的数据处理.根据零位光栅的原理,设计了一套零位系统,为距离测量提供了绝对的零位.进一步完善了光源的选取和确立该系统采用的准白光干涉方法.
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