在宇宙空间中使用的电子器件需要对其电子电路进行特殊的抗辐射加固设计,这就要求确定电路和器件中的辐射敏感区域及辐射效应产生的机理,进行有针对的加固设计。目前对辐射敏感区甄别和机理分析的有效手段是采用辐射效应显微镜（REM）,其原理是使用聚焦的离子束扫描整个器件,获得器件的敏感区域。然而随着现代集成电路的发展,新型器件有源区的上方有更厚的金属布线层,能够穿透这些覆盖层探测到器件的敏感区域的高能离子聚焦十分困难。离子诱导光子发射显微镜（IPEM）是一种新型的器件辐射效应显微分析技术,这种技术不再需要对高能离子束进行聚焦,未来具有较大的应用潜力,但IPEM技术的发展面临着运行可靠性和空间分辨率低的问题。基于此,本文设计并搭建了IPEM系统,分析了IPEM系统空间分辨率的影响因素,并对搭建的IPEM系统的空间分辨率进行了实验评估。主要的工作内容和结果如下:（1）IPEM系统的设计与搭建。通过分析IPEM技术的原理和功能实现对各个组成部分的要求,设计并搭建了IPEM系统。IPEM系统包括光学成像系统和器件测试系统两个主要部分,在光学成像系统设计时采用了一个带孔的内反射直角棱镜,使离子轰击闪烁体的同时可以进行光子采集,实现了光子的实时采集,并且提高了光子的采集效率。器件测试系统为金硅面垒探测器的瞬态脉冲测试系统。实现了整个系统在线测量和远程控制。（2）IPEM系统空间分辨率的影响因素研究。研究了离子在闪烁体中的能量沉积分布、光学系统和闪烁体中光子散射对IPEM系统空间分辨率的影响。结果表明,离子在闪烁体中的径向能量沉积分布小于100nm,对空间分辨率的影响较小;在光学成像系统设计时降低成像屏的厚度和增大物镜的数值孔径NA有利于提升系统的空间分辨率;光子在闪烁体中的散射会使系统的空间分辨率变差。（3）IPEM系统空间分辨率的实验评估。结合不同的闪烁体材料对搭建的IPEM系统的空间分辨率进行评估。实验结果表明,Zn S（Ag）闪烁体因其具有较高的发光强度,在低注量率下可以观测到单个离子入射形成的光斑图像,适合作为IPEM系统的成像屏。10μm厚的Zn S（Ag）薄膜作为成像屏,系统的空间分辨率为3μm左右,此外,降低闪烁体薄膜的厚度可以提高系统的空间分辨率。