复合硅微传感器的研究

来源 :华北工学院 中北大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kevil2009
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微机械电子系统(MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的一种高新技术.硅微传感器是MEMS技术的一种典型应用.至目前许多新型微传感器已经应用于日常生活和军事领域中.该文综合分析研究了国内外MEMS技术和微传感器的研究应用现状.研究设计了一种新型复合传感器.这种传感器的研究受国家杰出青年科学基金项目"硅微传感器和集成测试系统"的资助.它包括一个压阻式加速度计,一个电容压力传感器和一个PN结型温度传感器.该传感器采用硅加工工艺制造,能同时进行三维加速度、压力和温度的测试.该文详细论述了它的工作原理,结构设计和制造工艺技术.
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