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【摘 要】
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本论文以开发一种新型光电功能电极材料为目标,分别采用磁控溅射法、溶胶凝胶法先在导电玻璃(ITO)上制备N掺杂TiO_2薄膜,然后通过一种简便的化学沉积法(CBD)在TiO_(2-x)N_x薄膜上沉积一层多孔结构的NiO薄膜,构建出TiO_(2-x)N_x/NiO双层薄膜,采用XRD、SEM、XPS、紫外可见吸收光谱和电化学测试等对薄膜的微观结构、光电致色和光电化学储能等特性进行了研究。以金属钛为靶
【机 构】
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浙江工业大学
【发表日期】
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2010年04期
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