一种低频三维MEMS矢量水听器的研制

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由于远距离探测和低频测量的需求,低频小型化、高信噪比检测成为矢量水听器的发展趋势。MEMS矢量水听器的出现,为实现矢量水听器的高性能、小型化目标提供了新的解决方案。本文首先根据矢量水听器的设计要求,对三维MEMS电容式加速度传感器的敏感元件与外部应用电路进行了设计,制作出四种不同的加速度传感器,并对其进行了性能检测。测试结果表明:经过优化的传感器在保持较高的灵敏度的同时,自噪声相对于其它型号的MEMS电容式加速度传感器有明显降低,达到矢量水听器的设计要求。其次,本文基于同振式
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