扩散连接技术已广泛用于复杂结构的连接、微化学器件的高温封装等领域。界面微缺陷是扩散连接接头力学性能下降的主要原因。界面缺陷由于尺度微小、分布弥散，常规无损检测方法很难进行有效的检测。 本课题通过对316L不锈钢扩散连接的破坏性试验和金相显微观察，考察了扩散连接界面层中微观缺陷特征、宏观力学性能与界面结合率的关系，在对各种界面质量检测方法的比较和分析的基础上选择了界面电阻检测方法。论文的主要工作包括： (1)基于界面微孔隙等大小、等间距和圆形假设，建立了扩散连接界面电阻分析的二维有限元模型，考察了电阻测量对测量位置的敏感性，建立了电阻变化与界面结合率的无量纲标定曲线。 (2)对于界面微孔隙周期性分布和矩形假设，根据电场理论推导出的电阻变化随界面结合率变化的解析式，有限元验证表明其适用范围为孔隙宽度影响系数δ＜0.02，并基于有限元数据给出了相应的修正式。 (3)模拟多层微器件结构设计并制备了316L不锈钢薄板搭接形式的扩散连接构件，试验确定了其不同结合率下的界面电阻，所建立模型预测的结合率与试验值比较表明，基于圆形孔隙的有限元无量纲标定曲线对于界面结合率大于60％的扩散连接的预测结果与实际相近，修正解析式对界面结合率小于60％扩散连接的预测较精确。