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【摘 要】
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微通道板（Microchannel Plate,MCP）是一种电子倍增器。MCP在多个科学领域均有应用,如微光夜视、光电倍增管及图像光子计数器等。传统的铅硅酸玻璃微通道板是通过玻璃纤维拉丝、排丝、切片和氢还原等工艺制备的。此生产工艺复杂且衬底材料的选择有限。经该法制得的MCP增益普遍偏低,噪声因子偏大,寿命较短。原子层沉积（Atomic Layer Deposition,ALD）技术具有薄膜厚度精
【机 构】
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长春理工大学
【出 处】
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长春理工大学
【发表日期】
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2022年01期
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