低损耗介质掺杂的CaCuTiO介电性能研究

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随着微电子技术微型化和集成化的发展,高介电常数材料在微电子器件,特别是在动态随机存储器中(DRAM),扮演着越来越重要的角色。近年来具有巨介电常数材料的CaCu3Ti4O12(CCTO)引起了人们很大的关注,目前研究主要集中在CCTO巨介电常数的来源问题,但其较大的介电损耗限制了应用,对如何降低其介电损耗的研究很少。为了降低CCTO的介电损耗,本论文提出在CCTO中掺入低损耗介电材料的方法。
   利用传统的固相反应法制备了具有巨介电常数的CCTO陶瓷材料,探讨了合成过程中预烧和烧结温度对其物相结构和介电性能的影响。在1000℃预烧,1060℃烧结时,CCTO试样的介电性能最好,在室温和1KHz测量频率下,相对介电常数达46000,介电损耗为0.097。随着预烧和烧结温度升高时,CCTO的介电常数减小,介电损耗增大。
   通过向CCTO陶瓷中引入低损耗介质MgO、CeO2、LaAlO3、LaZn0.5Ti0.5O3(LZT)和LaMg0.5Ti0.5O3(LMT),研究了掺杂浓度为0.1-5.0 wt%分别在烧结温度1060℃、1080℃和1100℃下CCTO物相结构和介电性能的变化。XRD分析表明5.0 wt%的CeO2掺杂CCTO样品中会出现CeO2相,3.0 wt%LaAlO3掺杂也会有LaAlO3相出现,表明掺杂介质并没有与CCTO发生反应。介电性能测量表明,MgO和LaAlO3掺杂表现出对CCTO陶瓷较好的改性能力。主要表现在掺杂后CCTO高频介电性能趋于优良,介电常数和介电损耗总体上减小,且随掺杂浓度的提高而降低,随温度的变化趋势与纯相的CCTO变化基本一致。在1000℃预烧,1060℃烧结时,3.0 wt%MgO和LaAlO3掺杂后CCTO相对介电常数分别为为3000和2500,最低介电损耗为0.045和0.040。CeO2掺杂后CCTO介电性能变差,表现在介电常数减小,介电损耗增加。LZT和LMT对CCTO改性能力不明显,表现在介电常数和介电损耗变化均不大。
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