【摘 要】
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激光诱导荧光光谱法是诊断等离子体特性的一种有效手段,与传统的方法相比较,它具有极高的灵敏度和选择性,同时还具有很高的时间和三维空间分辨率,并且对离子体的状态没有干扰
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激光诱导荧光光谱法是诊断等离子体特性的一种有效手段,与传统的方法相比较,它具有极高的灵敏度和选择性,同时还具有很高的时间和三维空间分辨率,并且对离子体的状态没有干扰.用这种方法测量等离子体中微量粒子的浓度及速度分布函数是非常有效的.发射光谱是等离子体诊断方法中的较为简便的方法,它具有设备简单,易于控制等优点,用这种方法测量等离子体中的物质成份随外部放电条件变化的规律是很有效的.该文针对ECR微波等离子体和直流辉光放电等离子体建立了一套光谱诊断等离子体计算机数据采集与处理及自动控制系统,分别利用了激光诱导荧光法和发射光谱法对等离子体的特性进行了诊断与研究.
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