本文提出了一种基于Petri网和GA算法的半导体生产线优化调度方法，可解决半导体生产线的综合优化调度与控制问题。 本文的主要工作如下： 1.系统评述了国内外半导体生产线调度的建模方法和调度策略的研究进展，分析和讨论它们各自的主要优缺点和适用范围，给出了研究半导体生产线优化调度的理论意义和实际应用。 2.在深入了解半导体制造过程的基础上，为了有效分析半导体生产线调度与控制性能，提出了有色赋时Petri网的半导体生产线建模方法。该模型，根据生产线所存在主要调度子问题及其之间的相互关系，将半导体生产线划分为投料控制模块、路径调度模块和工件调度模块，这样可以有效降低模型的复杂性和提高模型的可重用性。并结合案例探讨其在半导体生产线调度中的建模与应用。 3.针对半导体生产线调度NP难问题，将遗传算法应用到半导体生产线的投料策略和调度策略上，通过合理的编码来寻找一组投料策略和调度策略的组合，来解决可重入半导体生产线的调度问题。 4.在充分了解实际半导体生产线的生产工艺流程，分析制造过程中生产计划、投料策略及调度策略间的关系，将Petri网建模技术与遗传优化算法相结合来研究，提出解决半导体生产线优化调度问题的新途径，最后以实际半导体生产线为例，进行模型和调度策略的应用研究并通过仿真加以验证。 最后对全文工作进行总结，并提出一些待改进的地方及未来工作的发展方向。