特殊真空系统的监控开发

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真空感应炉是冶炼高温合金、特种合金材料和半导体材料的重要设备,在航空、航天、军工、计算机、核电、能源、化工等领域的材料生产中起着重要的作用。真空感应炉控制系统的水平直接反映一个国家的冶金工业的发展水平。 本系统主要用于监控两台大型真空炉,一台为真空感应石墨烧结炉,另一台为真空感应化学气相沉积炉,以及使得两台炉获得真空环境的真空系统。上位机采用性能稳定、抗干扰能力强的工业控制计算机,分别利用他的COM1口和COM2口实现对数字量和模拟量的控制。通讯总线采用具有远距离传输能力的RS485总线,RS485两端分别采用RS485/RS232适配转换器,以实现不同数据传输模式之间的转换。 本系统中的数字量由PLC控制,数字量主要控制真空系统、烧结炉和化学气相沉积炉中各通气管路中的开关量。温度的控制采用具有通讯功能的智能化的FP93温度表,温度监控主要涉及两台炉的温度监控和输入气体预加热系统的监控。其它模拟量由智能化模拟量输入输出模块控制,本系统采用的是研华的智能模块ADAM4017(模拟量输入模块)和ADAM4024(模拟量输出模块)。为了实现对温度和质量流量的精确控制,温度和质量流量要采用闭环控制。上位机对下位机及各智能模块的控制是通过VB编程实现的。 本系统还实现了温度、真空度和质量流量实时曲线绘制的功能,建立了一个可以实时记录各监控点状态的大型数据库,并可以随时调用。 本论文中详细介绍了整个控制系统组态过程的研究,并详细介绍了上位机与PLC、FP93温度表、ADAM智能化模块、真空计和质量流量计通讯的实验研究过程。
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