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本文采用非平衡磁控溅射沉积和Ar~+刻蚀技术,制备了一系列具有不同表面特征的Ti-O薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)、接触角测量等方法对薄膜的表面特征进行了测试与分析,然后在薄膜表面进行了体外人脐静脉血管内皮细胞培养实验。重点研究了薄膜表面的O/Ti比、表面粗糙度和润湿性对人脐静脉血管内皮细胞粘附及生长的影响,目的在于寻求最适合内皮细胞生长的特征表面以及相应的制备工艺。 XRD分析表明,Ti-O薄膜经Ar~+刻蚀后,表面结