MEMS谐振器是一种基于谐振原理的机械式微纳尺度器件。通过机电耦合，实现信号的混频和滤波等功能。采用与集成电路工艺兼容的微机械加工工艺制造。具有高品质因数Q，体积小，功耗低，易于集成等优良特性。MEMS谐振器为核心的射频微机电系统具有小型化，低功耗，低成本和单片集成等优点，是射频通信的一大发展方向。因此研究MEMS谐振器具有重要的科学和应用价值。　　本文调研了射频MEMS谐振器的发展历程，总结了MEMS谐振器的发展概况和类别，基于微机械谐振器工作的基本谐振理论，提出了一种新型的碳化硅电容式双端固支梁MEMS谐振器。具体研究内容如下:　　1.提出了一种新型碳化硅电容扰曲式双端固支梁谐振器，基于其器件结构和工作原理，从理论上分析了器件尺寸和工作电压对器件频率的影响，并且分析了空气阻尼和热弹性阻尼对器件品质因数的影响，利用comsol对其进行了器件尺寸设计和仿真优化。　　2.研究了电容扰曲式双端固定梁碳化硅谐振器的制作工艺，包括其制作的工艺流程和工艺难点，着重研究了低应力碳化硅薄膜生长，碳化硅薄膜性能表征和牺牲层腐蚀等关键工艺。　　3.研究了电容扰曲式双端固定梁碳化硅谐振器的性能测试，通过优化最终采用差分的测试方法。通过测试找出器件制造和测试出现的问题并对之进行改造和优化。