【摘 要】
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该论文以正弦相位调制技术为基础,提出了半导体激光正弦相位调制实时干涉测量技术.该论文所提出的实验方案中,对半导体激光器直接输入正弦调制电流,对干涉信号的相位进行调制
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该论文以正弦相位调制技术为基础,提出了半导体激光正弦相位调制实时干涉测量技术.该论文所提出的实验方案中,对半导体激光器直接输入正弦调制电流,对干涉信号的相位进行调制.利用电路从干涉信号中获得与被测物体位移相关的相位变化,从而实时得到物本的位移,分辨率达到纳米.首先提出一种开环式半导体激光微振动实时干涉测量系统,该系统结构紧凑简单,但是随着微振动振幅的增加,测量误差变大.同步相位检测式测量系统克服了此缺点,但是测量范围较小.反馈式测量系统可以大幅度增加测量范围,而且大大降低了外界干扰造成的测量误差.文中给出了这三种测量系统的原理、实验装置以及实验结果,对造成测量误差的原因进行了分析.
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