表面形貌是零件表面质量的重要组成部分，零件具有不同的表面形貌特性，其摩擦磨损性能、配合质量、疲劳强度、抗腐蚀性、接触刚度及抗粘附性等会对零件使用性能产生差别。零件具有预期表面形貌特性，可提高其使用性能。在某些情况下，需要获得某种预期的表面形貌特性以使零件具有特殊的使用性能。掌握表面形貌在加工过程中的变化规律是实现预期表面形貌获取的基础。因此深入研究表面形貌在加工过程中的变化规律，对获得特定表面形貌，实现表面耐磨性、配合质量、抗粘附性、疲劳强度等方面的预期功能获取具有重要意义。本文采用电化学抛光和电化学机械两种加工方法加工试件表面，以表面轮廓的高度特性、宽度特性和形状特性来研究微观表面的几何特性，以高度分布函数和自相关函数来研究微观表面的统计学特性。结果表明，电化学抛光和电化学机械加工能显著改变试件表面微观几何形貌，不同加工方式和不同加工参数能获得的不同的表面形貌，表面形貌各参数的变化规律也不相同。本文系统研究了各参数的变化规律，研究结果为预期表面形貌特性获取提供了新途径。