【摘 要】
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该课题对硅基双势垒隧道发光器件的制作工艺、光电特性等进行了比较系统的研究,取得了一些有意义的结果.主要在以下几个方面:首先,在前人设计的MIS器件制作工艺基础上,研究人
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该课题对硅基双势垒隧道发光器件的制作工艺、光电特性等进行了比较系统的研究,取得了一些有意义的结果.主要在以下几个方面:首先,在前人设计的MIS器件制作工艺基础上,研究人员对硅基隧道发光器件工艺线制作工艺作了进一步的探索,设计出了一套MIMIS器件制作工艺,并利用工艺线成功制作出了MIMIS隧道发光器件,解决了工艺设计和器件制作过程中遇到的许多问题,并提出了更完善的MIMIS器件制作工艺设计.其次,研究人员测量了所抽行的MIMIS器件光学和电学性能,并与MIS器件进行了比较.再次,研究人员采用了谐振子能级跃迁的理论来解释负阻现象.最后,研究人员采用光波导理论中模式耦合的原理分析了MIN隧道结棱镜耦合发光情况.
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