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配备X射线能谱仪的扫描电镜和电子探针已广泛的应用于分析领域,是最为主要的微区成分分析的工具。提高能谱仪的定量分析质量,进而促进相关领域的科学研究和工农业生产的发展,意义重大。本论文对能谱仪的结构、INCA能谱定量分析系统、定性、定量分析和能谱仪的应用等方面进行了叙述,对三种典型试样——玻璃、不锈钢、低碳钢,定量分析时的脉冲处理时间、束斑直径、加速电压、活时间等测量条件进行了深入研究。不锈钢中除Fe外,主要合金元素有Cr和Ni,同时还含有少量的Mn、P、S、Mo、V、Ti等,定量分