【摘 要】
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钛酸锶钡(简称BST)是一种铁电/介电性能十分优越的材料,因其具有低漏导电流密度、低介质损耗、低介电常数温度、高介电常数、热释电系数及其居里点温度可依据Ba/Sr比值可调等特点,广泛应用于微波可调谐器件、动态随机存储器、热释电红外探测器等方面。随着科技的发展,及大规模集成电路应用技术的发展和需要,BST铁电薄膜材料因具备优异的电学和光学性能,本应在应用领域中大展身手,却因为薄膜制备技术上仍然无法达
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钛酸锶钡(简称BST)是一种铁电/介电性能十分优越的材料,因其具有低漏导电流密度、低介质损耗、低介电常数温度、高介电常数、热释电系数及其居里点温度可依据Ba/Sr比值可调等特点,广泛应用于微波可调谐器件、动态随机存储器、热释电红外探测器等方面。随着科技的发展,及大规模集成电路应用技术的发展和需要,BST铁电薄膜材料因具备优异的电学和光学性能,本应在应用领域中大展身手,却因为薄膜制备技术上仍然无法达到领域内所期望的高性能指标。这一定程度上阻碍了相关的科技的发展,因此,BST铁电材料的性能改善的研究工作
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