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【摘 要】
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本文研究了一种面向精密定位的压电陶瓷驱动的微动工作台及其控制系统。微位移机构是精密加工、检测等应用领域的关键部件，微位移系统一般由驱动元件、微动工作台和控制单元三
【机 构】
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厦门大学
【出 处】
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厦门大学
【发表日期】
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2007年期
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