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【摘 要】
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利用等离子增强化学气相沉积系统（PECVD）制备含氟类金刚石（fluorinated diamond like carbon, F-DLC）薄膜，考察了工艺参数对薄膜组成、微观结构和性能的影响，探讨了薄膜微观结构与力学性能、摩擦学和表面特性之间的关系。研究了F-DLC薄膜在大气环境下的低摩擦行为，并建立了F-DLC摩擦学模型以分析其超低摩擦机理。形成以下研究成果：研究了基底偏压频率、前驱气体、基底
【机 构】
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兰州理工大学
【发表日期】
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2012年01期
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