溅射法制备ZnO薄膜及其表面统计特性

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【摘要】

：

氧化锌(ZnO)是一种宽带隙(室温下3.3eV)Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体,激子结合能为60meV,具有六方纤锌矿结构。晶格常数a=0.3249nm,c=0.5206nm。ZnO薄膜具有良好的透明导电性、压电性、光电性、气敏性、压敏性、且易于与多种半导体材料实现集成化。本文实验所采用的磁控溅射法,在最佳条件下可以得到均匀、致密、有良好的c轴取向性和可见光波段透明性好等优点的薄膜,使得它成为在ZnO制备中

【作者】

：

霍庆松

【机构】

：

山东建筑大学

【发表日期】

：

2011年04期

【关键词】

：

ZnO薄膜磁控溅射原子力显微镜表面形貌统计特性

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