【摘 要】
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热释电红外探测器是红外探测器中重要的分支。近年来,红外探测领域的研究重点聚焦在了对非制冷热释电薄膜红外探测器的研发上,目前的研究工作中,一方面目标是通过选取最佳的材料并设计更优的探测结构来提升整个探测器的性能,另一方面就是降低成本,提升实用性。对于热释电薄膜材料,提出更优化的制备工艺、制备非制冷探测敏感元、提升敏感元工作效率,是应用研究中的主要课题。本论文结合前沿的室温热释电红外探测器发展,从探测
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热释电红外探测器是红外探测器中重要的分支。近年来,红外探测领域的研究重点聚焦在了对非制冷热释电薄膜红外探测器的研发上,目前的研究工作中,一方面目标是通过选取最佳的材料并设计更优的探测结构来提升整个探测器的性能,另一方面就是降低成本,提升实用性。对于热释电薄膜材料,提出更优化的制备工艺、制备非制冷探测敏感元、提升敏感元工作效率,是应用研究中的主要课题。本论文结合前沿的室温热释电红外探测器发展,从探测器敏感元结构的设计、吸收层的选择及制备工艺等方面展开研究,在实验中设计制备了基于钽酸锂薄膜的热释电多元红外探测阵列,并在脉冲红外光源激励下实现了探测器近红外波段的室温探测。研究成果表明,制备的碳黑红外吸收层在近红外波段的吸收率超过94%,在此基础上制备的热释电探测阵列器件在2200nm光源的3Hz脉冲频率直射激励下等效噪声功率(NEP)达到了 7.46×10-4W/Hz1/2,探测率达到了 1.34×103 Hz1/2/W,具有优良的探测性能,为以钽酸锂系列材料为基础的热释电探测器研究奠定了基础。
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