【摘 要】
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本文针对碳化硅和氧化铝两种典型难加工陶瓷材料的特点，在自行研制的新型研磨试验机上，探索了两种陶瓷的摩擦化学研抛特性，研制了行星轮式恒速率变向平动研磨试验机。试验机
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本文针对碳化硅和氧化铝两种典型难加工陶瓷材料的特点，在自行研制的新型研磨试验机上，探索了两种陶瓷的摩擦化学研抛特性，研制了行星轮式恒速率变向平动研磨试验机。试验机具有试件相对研具平动，研磨运动方向均匀渐变，研磨表面各点有相同研磨行程，相同研磨运动速度以及材料去除率高等特点。针对碳化硅陶瓷和氧化铝陶瓷的研磨特点，研究了两种碳化硅陶瓷和一种氧化铝陶瓷对不同研磨配副多种研磨液下的摩擦化学研抛特性。测量了摩擦系数和磨损量，观测了不同工况下试件研磨的表面质量，分析了研磨特性和机理。本文的研究为碳化硅和氧化铝陶瓷的摩擦化学研抛提供了研磨剂、载荷、研磨配副等工艺数据，为陶瓷超精密加工提供了一个新方向。
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