伴随超表面和太赫兹技术的发展,介质超表面在传感、安检、通信及军事等领域展现出巨大应用前景。但限于传统工艺,介质超表面的大面积制备一直是一个难题。本文意在突破传统工艺限制,设计超大面积、高精度阵列介质微球超表面的制备方法,使其可以为全反射、吸波、传感等领域的应用发展提供参考。本论文将介质微球和有机弹性体组成复合材料引入到制备大面积介质微球超表面中。基于Mie谐振及等效介质理论,通过调节两种组分之间的比例,或施加外力来改变超表面形态进而改变局部空间的组分比例,可使复合材料呈现出不同的谐振特性,具有太赫兹下可调控的性能。基于上述想法,本论文共提出四种大面积制备介质微球超表面的方案:基于模具“铸造”制备;基于激光打孔阵列制备;基于“丝网印刷”制备;基于网状结构大面积制备。还尝试通过搭建简单固态光刻系统进行制备。此外,对多种方案进行了样品制备,并利用中央名族大学TDS-THz系统进行测量,证明了多种样品具有多级谐振特性。利用CST仿真软件,对单个球形颗粒、成对球形颗粒、单层分布球形颗粒、多层分布球形颗粒以及对弯曲形变进行了系统仿真,探究了介质超表面在特定太赫兹波段下的场分布、谐振特性及在拉伸、弯曲形变下谐振峰和透射率表现出的变化规律,验证了其具有一定的调控性能。在传感、探测、大面积制备等方向上展现出一定的应用前景。此外,就本论文数据处理及可拓展方向,设计并实现了时域转换频域软件、太赫兹参数分析软件及太赫兹成像软件。