InP材料表面改性及光学性质研究

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaolch008
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耻材料在光电子和微电子器件中具有重要应用,但其严重的表面问题制约着InP基器件的发展。国内外研究者采用钝化方法降低表面态,但是提高钝化效果和防止钝化效果退化是现阶段难以克服的问题,针对上述研究难点,本论文开展如下研究内容:采用湿法化学方法,以(NH4)2S作为钝化剂对n型InP样品进行硫钝化处理,并优化钝化条件,有效的去除InP表面氧化物,提高样品光制发光(PL)强度,相对未钝化样品提高3.2倍。利用原子层沉积方法在已钝化的InP样品上沉积A1203薄膜进行二次钝化,以解决硫钝化层易氧化问题,使样品的稳定性得到了改善,进一步提高样品的发光性能。利用飞秒激光烧蚀InP表面形成周期性的纳米波纹结构。在纳米材料表面上沉积AlO03薄膜,有效改善了表面的光学性质。通过低温PL光谱和拉曼光谱对钝化前后样品的发光来源进行分析和指认。
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