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近年来,随着微纳加工与精密测量等技术的发展,微振动对精密加工精度和测量灵敏度的影响变得十分突出,且具有宽频带、微幅值的特点。被动隔振放大低频振动,自适应性差;半主动隔振低频抑制效果差;主动隔振功耗大,高频易失稳。为稳定可靠地衰减全频带微振动,本文结合压电堆主动隔振低频特性好和磁流变弹性体半主动隔振中高频特性好的优点提出主动/半主动混合隔振的思想,并通过理论分析、数值仿真和试验验证等方法完成混合隔振器的设计、测试与隔振系统控制策略的综合,主要工作如下:(1)利用磁路Kirchhoff第二定律和ANSY