微光学自适应单元技术是基于MOEMS工艺的智能化微光学技术,它能实时校正波前像差,保持清晰的成像。基于微光学自适应单元技术而成的微光学自适应系统,拥有传统的自适应光学系统所不具备的优势,具有广阔的发展空间。 微反射镜是微光学自适应系统中的基本组成部分。本文阐述了微光学和自适应光学系统的发展及应用,叙述了微光学和自适应光学的研究现状和前景,比较了几种微反射镜的制作工艺以及各自的特点,通过实验对比研究确立了基于硅基底的PZT薄膜制作微光学反射镜的方案。 基于硅基底的PZT薄膜微反射镜利用PZT薄膜的逆压电效应,通过外加电压使薄膜的厚度产生变化,对反射镜面局部进行微调,实现波前相位控制。 PZT薄膜的制备原料是钛酸丁酯（C₄H₉O）₄ Ti、乙酸铅Pb（CH₃COO）₂·3H₂O和异丙醇锆Zr（OCH（CH₃）₂）₄·（CH₃）₂CHOH,采用溶胶—凝胶法（Sol-Gel）制备薄膜。得到的溶胶通过旋涂、退火等技术处理得到单层薄膜,再经过数次重复操作达到需要的薄膜厚度。 由PZT薄膜制得的微反射镜单元,具有体积小、精度高、响应快速等优点,能够满足微光学自适应系统小型化和实时性的需要。