基于压力自平衡的微流控芯片超声波键合研究

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聚合物微流控芯片的超声波键合技术,因其键合强度高、效率高、生物兼容性好的优势而具有广阔的应用前景。但是,目前用于超声波键合技术的微流控芯片存在导能结构制造困难、微通道易被堵塞、键合过程难以有效控制等问题,同时用于超声波键合的夹具存在调平效果差、效率低等问题。针对上述存在问题,本文完成了以下研究:(1)设计了一种芯片导能结构,该结构包括:导能筋、熔池、阻融台三部分。将该导能结构与储液池、微混合区、延时区、检测区和废液缓冲区全部集成在PMMA基片上,盖片为PMMA平板,制作有直径为3mm注射进口。实验基
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