【摘 要】
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X射线干涉测量技术以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位实现微位移测量,是国际 上先进的具有原子尺度分辨率的纳米测量技术.在对X射线干涉理论进行分析的基础上,利用LabView
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X射线干涉测量技术以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位实现微位移测量,是国际 上先进的具有原子尺度分辨率的纳米测量技术.在对X射线干涉理论进行分析的基础上,利用LabView软件平台建立了X射线干涉纳米测量系统的计算机仿真软件.综合考虑了各种影响X射线干涉纳米测量的因素,如光源参数、晶片参数(材料、晶向及厚度)、散焦量、分析器移动所产生的侧滑角等,可以在不同情况下对干涉信号的强度、位相、对比度等参数进行分析.利用该系统分析了影响干涉信号对比度的因素,并根据干涉信号对比度和强度最佳的条件对晶片厚度尺寸进行了优化设计.
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