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近年来,5d过渡族金属硼化物(ReB2、 OsB2、 IrB、WB2、 WB4等)作为超硬材料得到了人们的广泛研究。目前实验中发现了两种不同晶体结构的WB2相,分别为AlB2型WB2和WB2型WB2。对于WB2型WB2的研究很充分,但对于AlB2型WB2却鲜有文献报道。自1966年Woods等人采用热丝化学气相沉积的方法首次制备出AlB2型WB2之后,很多研究人员尝试制备该结构相,但都归于失败。可能的原因是AlB2型WB2是一种高压相,需要在高压条件下制备。本工作尝试采用直流磁控溅射的方法来制备AlB2型WB2,并对其相组成、显微结构以及力学和热力学性能进行研究,此外还研究了其在室温下的生长机制、热稳定性及电化学性质。 成分及晶体结构分析表明,本文首次采用直流磁控溅射技术成功制备了AlB2型WB2涂层。在1Cr18Ni9Ti基底上,涂层表现出超硬性能,其维氏硬度和纳米压痕硬度分别为45.4±2.1 GPa及49.8±3.6 GPa,然而由于很高的涂层残余应力(-6.84 GPa)导致结合强度和韧性较差,分别为25.6 N和16.6 N。在硬质合金(YG8)基底上,涂层残余应力大大降低至-0.43 GPa,其结合强度和韧性也极大提高,分别为54.0-56.6N及24.0 N,但是硬度有所损失,降为38.6±4.2 GPa。此外,在YG8基底上,涂层具有较低的摩擦系数(μ=0.4)和极低的磨损率(w=7.4×10-7 mm3/Nm)。 密度泛函理论计算表明,AlB2型WB2的弹性常数满足Born准则,表明AlB2型WB2具有力学稳定性。通过计算不同晶面的电子密度分布可知,AlB2型WB2在不同晶向上具有不同的成键特征,即在a方向上的B原子层内具有强的B-B共价键,而沿着c方向的W-B键则相对较弱。不同的成键特征导致了AlB2型WB2压缩性能及热膨胀性能的各向异性,即沿着c方向上的抗压缩能力低于a方向,而c方向上的热膨胀系数则大于a方向。原位变温X射线衍射测得a和c方向上的线膨胀系数分别为αa=6.04×10-6K-1及αc=9.39×10-6K-1,平均线膨胀系数αm=7.16×10-6K-1。根据平均线膨胀系数,可以通过经验公式估算出AlB2型WB2的熔点Tm=2833.8±18.4 K。此外在密度泛函理论计算的基础上采用准谐德拜近似的方法研究了AlB2型WB2的热力学性能,如热膨胀系数和热容。而且在298 K至473 K的温度范围内,体膨胀系数的计算值24.86×10-6K-1与实测值21.52×10-6K-1吻合良好。 密度泛函理论计算还可以得到AlB2型WB2的体模量(B)和剪切模量(G),分别为323.3 GPa和175.3 GPa。根据剪切模量,可以通过经验公式计算得出AlB2型WB2的本征硬度H(V)=26.5 GPa。虽然其本征硬度远远没有达到超硬性能,但是采用直流磁控溅射的方法可以得到具有超硬性能的AlB2型WB2涂层,这主要是因为涂层中小的晶粒尺寸、纳米复合结构、残余应力及缺陷等因素造成的。 研究了AlB2型WB2在室温下的生长机制,所采用的基底分别为铜网支持非晶碳膜和(100)硅片。在非晶碳膜基底上,生长早期为层状-岛状生长(SK)模式。在(100)硅片上,在早期阶段(t=1s至20 s)的生长模式为岛状生长(VM)模式,而20 s之后岛状生长逐渐减弱。根据粗糙度的变化,整个生长过程可以分为两个阶段,即阶段Ⅰ和阶段Ⅱ。在阶段Ⅰ,阴影效应为主导机制,导致岛的生长;而在阶段Ⅱ,轰击诱导下坡粒子流(Impact-induced downhill particle current, IDPC)平滑效应开始发挥作用并成为主导机制,引起粗糙度随沉积时间呈指数降低。在整个生长过程中,粗糙度指数α,生长指数β和动力学指数z并不满足z=α/β,意味着动力学标度理论不再成立,这是因为在整个生长过程中涂层均为丘状形貌。 在真空条件(10-3 Pa)下,800-1000℃范围内通过X射线衍射研究涂层微观结构的变化来研究涂层的热稳定性,测试结果表明AlB2型WB2在800℃以下没有相变,900℃时转变成α-WB相,1000℃时转变成α-WB与Mo2B5型WB2的混合相。动态极化曲线测试表明,AlB2型WB2的自腐蚀电流密度比YG8基底的自腐蚀电流密度低将近1个数量级,表现出较好的耐腐蚀性能。