综述了国内外几种典型的微驱动器和微机械手的工作原理，并比较了各自的特点，阐述了光致弯曲驱动的优势，研究了光致弯曲驱动曲梁在微机械手中的应用。 建立了光致弯曲驱动曲梁的平面弯曲模型，引入光致应变、光致轴力和光致弯矩的概念，求解出了光致弯曲驱动曲梁平面弯曲变形的挠曲线方程和曲率变化表达式。在特定约束情况下，求解出光致弯曲驱动曲梁在紫外光照后的驱动力及其变形。 建立复合的光致弯曲驱动曲梁的平面弯曲模型，求解出了复合光致弯曲驱动曲梁平面弯曲变形的挠曲线方程和曲率变化表达式。在特定约束情况下，求解出复合的光致弯曲驱动曲梁在紫外光照后的驱动力及其变形。 设计了微机械手的机构，完成了其结构参数的设计，进行了受力分析，对制作工艺进行了探索。 总而言之，完成了光致弯曲驱动曲梁及复合的光致弯曲驱动曲梁的光—机模型，为应用光致弯曲驱动曲梁奠定了理论基础。完成了微机械手的设计，为实物试验提供了理论基础。