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该论文综述了光敏聚酰亚胺(PSPI)二十几年来的研究、发展和应用,在前人工作的基础上,改进了酯型PSPI的合成方法,并探索了其配胶和光刻工艺;合成了水系显影的PSPI光刻胶和新的离子型PSPI光刻胶;最后探讨了PSPI杂化的可行性.
光敏聚酰亚胺的合成与性能表征
【摘 要】
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该论文综述了光敏聚酰亚胺(PSPI)二十几年来的研究、发展和应用,在前人工作的基础上,改进了酯型PSPI的合成方法,并探索了其配胶和光刻工艺;合成了水系显影的PSPI光刻胶和新的
【机 构】
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中国科学院长春应用化学研究所
【出 处】
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中国科学院长春应用化学研究所
【发表日期】
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1998年期
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