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【摘 要】
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随着科技的发展，系统微型化是自然科学和工程技术领域发展的一个重要特征.其中微机电系统(micro electro mechanical system，简称MEMS)和纳机电系统(nano electro mechanical s
【机 构】
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内蒙古大学
【出 处】
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内蒙古大学
【发表日期】
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2017年01期
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