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【摘 要】
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真空微电子器件具有电子传输速率高、功耗低、发射电流密度大、无需加热等优点,场发射阴极作为真空微电子器件的核心部分,其性能的好坏直接影响真空微电子器件的整体性能。因
【机 构】
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电子科技大学
【出 处】
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电子科技大学
【发表日期】
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2008年期
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