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【摘 要】
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微机电系统是一种在微电子技术的基础上产生与发展起来的多种学科交叉的研究领域。目前，探讨关于微结构力学特性的研究主要是集中在微型梁结构、微型板结构等常见微结构的动态
【机 构】
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烟台大学
【出 处】
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烟台大学
【发表日期】
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2015年期
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