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【摘 要】
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自从原子力显微镜(AFM)诞生以来，其检测技术得到迅速发展，应用范围也日趋广泛。目前，原子力显微镜已成功的应用于物理、化学、金属、半导体、微电子、纳米材料、生物、生命科学等众多科学领域中。而且目前已经有人利用AFM的微悬臂梁做为传感器来检测生物化学反应，可以说AFM已经成为进行微观领域研究的重要工具。AFM微悬臂梁有三种工作方式：接触模式(Contact Mode)、非接触模式(Non-Conta
【机 构】
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天津大学
【发表日期】
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2004年01期
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