【摘 要】
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该文对折射型微透镜阵列(MLA)在焦平面阵列器件集成的制造和测试技术进行了研究, 利用微透镜阵列的阵列光学和聚能特性,对焦平面阵列(FPA)进行表面集成,以大幅度提高国产FPA
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该文对折射型微透镜阵列(MLA)在焦平面阵列器件集成的制造和测试技术进行了研究, 利用微透镜阵列的阵列光学和聚能特性,对焦平面阵列(FPA)进行表面集成,以大幅度提高国产FPA器件的灵敏度.同时提出了采用光刻热熔自挤压法制作高填充因子,小相对口径的 折射型的微透镜阵列,解决了困扰微透镜阵列应用于FPA集成的主要困难.
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