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本文研究了一种单层结构的六自由度微位移工作台，在两层平板间均匀分布多个压电陶瓷微驱动器，通过并行驱动来实现微位移工作台六自由度的位姿变化。本文的主要的研究工作和创新点如下：（1）机构设计。提出了一种六自由度微位移工作台的单层结构。采用八个PZT微驱动器均匀分布在两层平板间，分析了其微定位原理，得到了工作台位姿与各驱动器驱动量之间的关系，建立了位姿控制模型，并完成了工作台的机构设计。（2）结构的优化设计。为进一步简化模型，基于经典的Stewart结构形式，采用六个PZT微驱动器