稀土对真空电弧沉积AlCrN薄膜组织与性能的影响

被引量 : 5次 | 上传用户：ridou

【摘要】

：

本文研究了在Bulat-6多弧离子镀膜机上真空电弧沉积AlCrN薄膜的基础上，对AlCrN薄膜进行稀土元素复合而制备了AlCrREN薄膜，采用Al/RE合金靶和铬靶的组合沉积薄膜，从而把稀土元素引入到AlCrN薄膜中，并且在相同的工艺条件下采用离子束辅助沉积工艺沉积AlCrREN薄膜。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜对薄膜进行了结构和形貌的表征，用显微硬度计、摩擦磨损实验仪对薄膜的力学性能进行了检测

【作者】

：

李宇恒

【机构】

：

广东工业大学

【发表日期】

：

2007年01期

【关键词】

：

稀土真空电弧沉积 AlCrN 高温抗氧化性能

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

电子技术中测控技术的应用研究

本文通过对荣华二采区10

期刊

纳米ABO<,3>型稀土氧化物的制备及其催化性能的研究

本文采用溶液燃烧法和盐助机械化学法制备了纳米LaMnO_3和NdCoO_3，考察了其对高氯酸铵(AP)热分解的催化性能，并研究了NdCoO_3对AP系固体推进剂热分解、燃烧性能和安全性能的影响。首先以甘氨酸为燃料、硝酸盐为氧化剂，通过微波引发溶液燃烧反应可以快速地制备出平均晶粒度为12.5nm的钙钛矿相LaMnO_3粉末。以甘氨酸为燃料，通过加热引发溶液燃烧反应制备了纳米NdCoO_3，500℃煅

学位

纳米ABO3型稀土氧化物溶液燃烧法机械化学法催化性能高氯酸铵固体推进剂热分解

中资企业投资南非矿业运营监管难点与策略研究

南非多年来一直是中企境外矿业投资的重要目的国.由于对南非的政治经济与营商风险研判处置不足,以及自身决策不当、管理体制和监管机制有缺陷,中企对南非投资受到一定的挑战.

期刊

中资企业南非矿业投资运营监管策略

Nb对变形诱导铁素体相变的影响

组织超细化是新一代钢铁材料的主要特征，变形诱导铁素体相变(Deformation Induced Ferrite Transformation——DIFT)是实现这一目标的最有效方法之一。众所周知，Nb微合金化+传

学位

铌微合金化变形诱导铁素体相变控轧控冷细晶粒钢

斑点追踪超声心动图评估冠状动脉杂交血运重建术短期疗效

目的应用二维斑点追踪超声心动图(2D-STE)定量评价冠心病多支病变患者行冠状动脉杂交血运重建术(HCR)术前、术后左室心肌功能变化,探讨HCR短期治疗效果.方法选取经冠状动脉

期刊

斑点追踪超声心动图冠状动脉杂交血运重建术心肌功能

试论初中体育教学学生核心素养的培养策略

百年大计,教育为本.教育在我国一直受到重点关注,随着社会的不断进步,教育教学方式也在不断改革,社会对于学生在课堂中的学习也给予广泛关心.然而,体育教育在近几十年来的传

期刊

初中体育教学学生核心素养培养策略

利用聚合多巴胺进行超滤膜接枝PVA氨基酸聚合物亲水改性研究

膜污染是膜技术在废水处理领域扩大应用范围和进一步发展的主要障碍，而提高膜的亲水性是解决膜污染的主要途径之一。本文以多巴胺自聚合性和化学特性为背景，通过聚乙烯醇（PVA）与

学位

聚合多巴胺超滤膜聚乙烯醇氨基酸聚合物亲水改性

碳纤维编织增强树脂基复合材料筒状结构的热力耦合分析

碳纤维编织增强树脂基复合材料是一种新兴的复合材料，具有连续、完整的网锁结构，可以利用编织技术设计材料增强体结构，可设计性强，克服了传统复合材料易分层、层间强度差等缺点，并

学位

碳纤维筒状编织体树脂基复合材料热力耦合分析有限元模型计算机仿真

稀土对真空电弧沉积AlCrN薄膜组织与性能的影响

其他学术论文