【摘 要】
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该文主要研究静电力再平衡工作的微硅电容扭摆式加速度传感器测量控制电路.论文首先对微电子机械系统(MEMS)、加速度传感器和电容式加速度传感器的测量控制电路进行了综述,总
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该文主要研究静电力再平衡工作的微硅电容扭摆式加速度传感器测量控制电路.论文首先对微电子机械系统(MEMS)、加速度传感器和电容式加速度传感器的测量控制电路进行了综述,总结了MEMS技术及微机械电容式加速度传感器的研究进展和应用前景.其次,为了获得电容扭摆式加速度传感器测量控制回路的要求,论文详细讨论了传感器静电力再平衡工作的原理和特性.在此基础上,获得了设计传感器测量控制电路的依据.然后根据传感器测量控制的要求,设计了电容扭摆式加速度传感器的测量控制电路.论文在电路的调试之前,利用计算机模拟软件进行了验证,简化了调试过程中的复杂性.电路搭接调试之后的测试表明,电路各级符合设计要求.论文最后对所设计的加速度传感器测量控制电路进行了性能测试,结果表明电路有很好的线性和很高的灵敏度,对差分电容变化量的敏感度可达10<-15>F,对应的传感器最小测量范围约为1mg.谐振放大器的带宽符合设计要求,具有很好的抑制噪声性能.
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