可调波长与带宽的光学器件镀膜技术的研究

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本论文应用制备各种规格的干涉截止滤光片来实现光学器件的波长与带宽的可调,尤其对难度较大的短波通滤光片的设计与制备做了详细介绍。根据短波通滤光片的设计原理,分别用二氧化钛和二氧化硅作为高折射率材料和低折射率材料。首先从理论上计算出用这两种材料设计的短波通滤光片所需要的周期数,然后分析并计算出短波通滤光片的主膜系,分析计算机输出膜系的光谱曲线,由于据此周期数设计出的膜系光谱曲线在部分波长处的透过率不符合要求,因此对该膜系再用膜系设计软件进行优化。依照改进的设计进行多次制备,制备过程的重点在于膜厚的监控,
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