RTD及其光电集成技术的研究

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将微电子器件与光电子器件集成在一起的光电集成电路(OEIC)同时具有光探测、接收与电信号逻辑控制的功能,并且尺寸小、性能高,因而在光通信和光互连系统中具有重要的意义和广阔的应用前景.带叉指电极的金属-半导体-金属光探测器(MSM-PD)是由一对背靠背的肖特基二极管组成的新型高速光探测器件.谐振隧穿二级管(RTD)是基于量子隧穿现象的一种两端纳米负阻器件,具有响应速度快、工作效率高、低电压低功耗工作等特点,而且用谐振隧穿二极管构成同等功能的电路比常规器件需要的器件个数少且易于实现多功能工作,是发展纳米电路最有前途的器件之一.基于RTD和MSM的光电集成电路单元的研制也正是现代信息飞速发展的要求.设计以MSM将光信号转变为电信号,以RTD组成逻辑功能部分的光电负阻逻辑电路,利用通用电路模拟软件PSPICE模拟RTD和MSM组成的光电集成的单元电路,并通过改变光、电参数,分析以RTD为驱动器件的光控电流(电压)双稳态特性.
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