【摘 要】
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科技的进步导致新型功能材料被广泛开发,并在各自的领域发挥着越来越大的作用。AlN陶瓷的理论热导率高达320w∕m·K,以及和Al2O3相匹配的介电常数,和Si相匹配的热膨胀系数等优良
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科技的进步导致新型功能材料被广泛开发,并在各自的领域发挥着越来越大的作用。AlN陶瓷的理论热导率高达320w∕m·K,以及和Al2O3相匹配的介电常数,和Si相匹配的热膨胀系数等优良特性,使它在集成电路和电子封装等方面的应用越来越广泛。自然界中并没有天然的AlN存在,人工合成AlN粉体普遍面临着生产效率低、成本高、纯度低、粒径分布不均匀等难题。而AlN陶瓷在低温下烧结不致密,难以具有较高的热导率;在高温下烧结又极易氧化变质,形成气孔等缺陷。这些客观的因素都导致AlN的推广十分困难,商业化程度不高。因此,通过改变工艺条件制备性能优良的AlN粉体,进而合成高质量的AlN陶瓷材料,具有重要的商业价值和实际意义。本论文围绕AlN粉体的制备及其低温下的烧结性能等对AlN材料进行了研究。 本论文中首先以微米级Al为原料,在电弧放电的高温条件下,利用Al粉与载气N2直接反应生成AlN粉体。为了减少试验次数,本文中以反应温度、原料粒径大小为变量,采用正交法系统的研究了它们对合成AlN粉体性能的影响,并找到了最佳的制粉工艺参数。在此基础之上,采用不同配比的AlN粉体做分散剂,研究了分散剂对合成粉体的作用。研究表明:等离子体火焰的温度远高于Al粉氮化所需要的温度,故而制备的AlN粉体粒径细小均匀,平均粒径在100nm左右。原料Al粉的粒径越大,它的流动性也越好,所需要的载气的压力越低,所合成的AlN粉体的纯度也越高。分散剂既能通过自己的裂解来提高粉体中AlN的含量,也可以作为纳米级Al颗粒团聚的中心,使更多的Al暴露在N2气氛下参与氮化反应,故而分散剂能显著的提高粉体中AlN的含量。 采用微波烧结工艺对合成的AlN粉体进行烧结。结果表明:延长保温时间和使用烧结助剂都能提高陶瓷的致密度。由于我们是在较低的温度下进行烧结,故而和Al2O3在低温下形成复合相的CaO作为烧结助剂时效果比Y2O3好,得到的陶瓷晶粒均匀,排列规则。此外,由于烧结助剂本身也可以作为第二相存在于AlN陶瓷中,从而降低AlN陶瓷的性能,所以烧结助剂的量并不是越多越好,它存在一个理论上的最大值。
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