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来源 :清华大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本论文工作主要研究全息光栅的制作工艺。为了降低对制作者个人经验的依赖并提高工艺的可控性,对曝光和显影分别建立了的实时监测技术,并提出了相应的理论模型。通过实验和理论
【作 者】
:
赵劲松
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
清华大学
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
光栅
全息光栅
实时曝光监测
实时显影监测
显影模型
掩模
干涉条纹
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