【摘 要】
：
本论文包括两方面的内容:高介电常数(高k)HfO薄膜的制备及其特性研究;Ge在高定向热解石墨(HOPG)上的生长机理研究.集成电路在按照摩尔定律继续前进,芯片的集成度越来越高,其
论文部分内容阅读
本论文包括两方面的内容:高介电常数(高k)HfO<,2>薄膜的制备及其特性研究;Ge在高定向热解石墨(HOPG)上的生长机理研究.集成电路在按照摩尔定律继续前进,芯片的集成度越来越高,其核心元件CMOS场效应管的尺寸也随之迅速缩小.现在半导体工业是否能继续沿着摩尔定律指明的道路前进取决于是否能成功解决所遇到的一系列难题,其中最核心的问题就是由于量子隧穿效应引起的隧穿电流将导致超薄SiO<,2>不能再起到绝缘作用.使用高k材料是有效解决这一难题的途径,这直接引起了科学界与工业界对高k材料研究的热潮.我们对Ge在HOPG上生长的实验动机源于以前在惰性衬底SiN<,x>表面观察到的Si和Ge的复杂生长过程.实验中我们发现Ge在石墨衬底上展示了许多奇特的生长特性:1.Ge原子和Ge岛具有很高的表面扩散能力;2.非单原子层的双层Ge岛在生长中期出现;3.生长过程中岛尺寸的自限效应;4.生长过程是典型的反应限制过程.本文第二部分对上述一些问题进行了初步讨论.
其他文献
挥发性有机物(Volatile Organic Compounds，VOCs)是一类重要的大气污染物，虽然在大气中的含量较低，但其对人类的潜在危害不容小视。这些VOCs一方面在大气中会造成光化学烟雾、二
钛酸锶钡铁电薄膜被认为是用于可调微波器件的最佳候选材料,在微波器件使用的频率和温度范围内,具有高介电调制率、低损耗、小漏电流,低电压滞后、良好的温度稳定性的铁电薄
掺杂的钙钛矿锰氧化物以及相关的材料受到科研工作者的广泛关注和研究.这些材料不仅具有巨磁阻性质而且显示了磁有序和电荷有序等的物理现象.特别是在四分之一满的钙钛矿锰氧
光抽运铯束频标是用光抽运和光检测代替传统频标的选态磁铁和热丝检测的一种铯束频标.光频移是指光波(交流电场)与原子的电偶极矩相互作用引起原子能级移动的现象;Ac Zeeman
近年来，我国以灰霾为代表的区域性大气复合污染问题日益突出，大气细颗粒物(PM2.5)已经成为我国大多数城市大气污染的首要污染物。PM2.5质量浓度的准确、快速在线监测是我国大气
自从上世纪80年代初德国科学家H.Gleiter教授提出了纳米晶体材料的概念并首次获得人工制备的纳米晶体以来,世界各国的科学家竞相开展对这种新材料的研究工作.主要包括两个方
本文在流动余辉装置上研究了十余种亚稳态原子、分子与氧硫化合物的能量转移反应，研究了Ar与SO2/SOCl2混合气体的空心阴极放电、Ar(3P0，2)与SO2/SOCl2能量转移、He(23S)与C
本论文主要报导了对几种纳米材料拉曼光谱及其物理性质研究的总结，希望通过实验得到具有一定普遍意义的结果，因此选择了有代表性的样品进行研究。论文的主要内容分为五章撰写，第
第一章是引言,主要对信息论的基本理论,密码学的概念和发展,混沌运动,混沌加密以及混沌加密存在的问题等作简要介绍.在第二章中,我们研究了一维单向耦合映象系统同步混沌中的
该文通过第一性原理总能计算和动力学蒙特卡罗方法研究了金属同质外延生长系统中表面纳米结构的形成及其动力学演化规律.首先,我们从理论上研究了在Al(110)表面同质外延生长