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微机械具有微型化、集成化、智能化、低能耗、可批量生产和低成本等优点,在工业自动化、医疗科学、生物工程、军事、航空航天等领域有广泛的应用前景。硅材料的高摩擦系数、传热性能差等性能限制了硅基材料的微机械在高速、耐腐蚀、耐磨损和生物医疗等苛刻环境下的应用。金刚石具有耐摩擦磨损、传热性好、耐腐蚀和生物兼容性好等特点,在高速、耐磨损等严重恶劣环境下是取代硅的理想材料,因此金刚石微机械零件的制备技术是工业界和学术界关注的重要课题之一。本文提出硅模复印法制备化学气相沉积(CVD)金刚石微零件的研究思路,首先采用光