本论文分析了温度、湿度及氧气传感器的工作原理,设计并研制了湿度传感器和多功能组合传感器的信号处理电路及显示电路。本文重点分析了聚酰亚胺电容式湿度传感器的工作原理,设计了湿度传感器结构,探索了制备工艺对聚酰亚胺敏感膜的影响和对湿度传感器的灵敏度的影响,最终制备出了湿度传感器。通过类似于半导体涂胶工艺制作的聚酰亚胺电容式湿度传感器的测湿范围为0～100%RH,灵敏度为0.44Pf/%,稳定性好。同时也对湿度传感器的湿滞曲线和介电损耗的原因进行了分析及讨论。通过对温度传感器、湿度传感器及氧气传感器敏感特性的测试及分析,设计并研制了多功能组合传感器的信号处理电路。该电路使温度、湿度、氧气浓度传感器的输出电压信号的变化范围在0～2V之间,并随各检测量线性变化。文中还对研制出的能同时对环境温度、湿度以及氧气浓度的多功能组合传感器的敏感特性进行了测试、分析及讨论。同时,设计的A/D转换电路和显示电路可以将模拟信号转换为数字信号,实现了多功能组合传感器的输出的数字化。本论文的工作属于多功能组合传感器研制的一部分,本论文研制的多功能组合传感器具有功能多、体积小、精度高等特点,它可广泛应用于对环境检测、医疗、食品、纺织等领域。