AlN体单晶的性质、抛光与外延研究

来源 :南京大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：asdfghjkj

【摘要】

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【作者】

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付润定

【出处】

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南京大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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氮化铝物理气相传输法化学机械抛光 AlGaN

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