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【摘 要】
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随着微电子技术和微光学的迅速发展，光刻技术已经成为大规模、超大规模集成电路和微光学元件制作过程中的一项关键技术。光刻光学器件作为光刻系统的一部分，在光刻技术中扮演着
【机 构】
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广东工业大学
【出 处】
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广东工业大学
【发表日期】
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2014年期
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